荷蘭表態(tài)：可以不給中國EUV光刻機(jī)，但落后的設(shè)備一定要繼續(xù)賣

前沿導(dǎo)讀

據(jù)《電子工程專輯》新聞指出，此前被中方制裁的荷蘭官員舍爾茨瑪已經(jīng)帶隊進(jìn)行訪華，除官員之外，處于風(fēng)口浪尖的荷蘭ASML人員也在訪華團(tuán)隊當(dāng)中。

據(jù)媒體報道指出，荷蘭方面在先進(jìn)技術(shù)領(lǐng)域與美國達(dá)成一致，不對中國出口EUV光刻機(jī)。但是在不太先進(jìn)的DUV領(lǐng)域，荷蘭政府、ASML與美國的法案存在明顯分歧。荷蘭方面認(rèn)為應(yīng)該繼續(xù)向中國客戶銷售這些產(chǎn)品，并且履行售后服務(wù)的義務(wù)。

保持業(yè)務(wù)

據(jù)媒體指出，荷蘭首相迪克·斯霍夫曾公開表示，荷蘭需要自行決定是否會進(jìn)一步收緊對華出口限制，并且在實施限制時還將考慮ASML的經(jīng)濟(jì)利益。

中國大陸市場一直是ASML的全球第三大市場，甚至在某些季度里中國市場是ASML全球最大的單一客戶市場。一旦全面切斷DUV設(shè)備的對華出口，那么這對于ASML來說是一個重大的經(jīng)濟(jì)打擊。

據(jù)《電子工程專輯》表示，切斷ASML DUV光刻機(jī)的對華出口，并且同步叫停ASML在中國區(qū)的售后服務(wù)業(yè)務(wù)，這導(dǎo)致的后果就是ASML中國區(qū)業(yè)務(wù)趨近于清零，這對其后續(xù)的研發(fā)投入能力以及全球范圍內(nèi)的龍頭地位構(gòu)成根本性動搖。

目前ASML的國際競爭對手就是尼康，盡管尼康的精密機(jī)械業(yè)務(wù)（光刻機(jī)）銷量慘淡，但是尼康擁有浸潤式光刻機(jī)的制造能力，可以支持14nm及以下先進(jìn)節(jié)點的芯片制造，這對于ASML的DUV光刻機(jī)來說有著直接競爭關(guān)系。

并且尼康正在對中國市場“虎視眈眈”，在2026年的上海半導(dǎo)體展會上面公開表示要針對中國市場進(jìn)行特殊政策扶持。包括銷售二手制造設(shè)備、提供后續(xù)技術(shù)升級和維護(hù)服務(wù)、提供設(shè)備安裝移機(jī)等硬件工程服務(wù)。打算用這種辦法吸引中國客戶，提升尼康光刻機(jī)的市場出貨量，解決當(dāng)下項目虧損的窘境。

同為光刻機(jī)制造商的日本佳能，則是選擇了與尼康完全不同的發(fā)展路徑。佳能的先進(jìn)光刻設(shè)備是納米壓印，支持5nm節(jié)點的芯片制造，但是其目前只能量產(chǎn)存儲芯片，無法量產(chǎn)掩模板圖案復(fù)雜的邏輯芯片。

在傳統(tǒng)光刻機(jī)領(lǐng)域，佳能早在2003年就已經(jīng)放棄了浸潤式技術(shù)的開發(fā)，專心銷售差一檔的干式DUV光刻機(jī)以及KrF、i線等早期的光刻機(jī)設(shè)備。

佳能已經(jīng)完全放棄了浸潤式光刻機(jī)和EUV光刻機(jī)的技術(shù)路線，其先進(jìn)設(shè)備專注于納米壓印的技術(shù)開發(fā)。而尼康此前投入超過1000億日元研發(fā)EUV設(shè)備，但是直到2018年都沒有一臺像樣的原型機(jī)進(jìn)行測試，最終宣告項目失敗。

到目前為止，同時在DUV領(lǐng)域和EUV領(lǐng)域?qū)SML進(jìn)行追趕的，只剩下中國本土企業(yè)。

技術(shù)沖擊

對于可量產(chǎn)的技術(shù)產(chǎn)品來說，市場占比是尤為重要的環(huán)節(jié)。

拿EUV光刻機(jī)舉例，雖然尼康的EUV在2018年沒有搞出來可以量產(chǎn)芯片的原型機(jī)，但是還在研發(fā)。而ASML的EUV已經(jīng)交付給了晶圓廠開始造芯片，2019年基于EUV光刻機(jī)量產(chǎn)的先進(jìn)芯片正式進(jìn)入消費(fèi)市場。

這種實際產(chǎn)品落地的沖擊力是巨大的，ASML的EUV已經(jīng)率先搶占到了消費(fèi)市場，幾乎所有涉及先進(jìn)芯片制造的晶圓廠都在買ASML的光刻機(jī)。

尼康就算投入再多的資源，哪怕在幾年后成功完成了EUV光刻機(jī)的制造，這時候的國際市場已經(jīng)被ASML的技術(shù)生態(tài)套牢，根本沒有客戶選擇尼康的產(chǎn)品。在這種狀態(tài)下，尼康與其繼續(xù)研發(fā)自己“虛無縹緲”的EUV，還不如直接宣告項目失敗，避免資源浪費(fèi)。

而中國的光刻機(jī)企業(yè)與尼康有所不同，甚至可以說中國企業(yè)有著尼康沒有的“優(yōu)勢”。

首先，美國的出口管制已經(jīng)完全堵死了中國本土企業(yè)獲得EUV光刻機(jī)的機(jī)會，中國企業(yè)無法獲得ASML制造的EUV，自主研發(fā)就成為了一個解決困境的辦法。

其次，中國本土市場具備很強(qiáng)的市場規(guī)模，不但中國本土企業(yè)覆蓋了整個半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，而且還有許多涉及消費(fèi)產(chǎn)業(yè)的品牌滿足內(nèi)需市場。

最后，中國自主設(shè)備在近些年的發(fā)展中已經(jīng)拿出了許多技術(shù)成果，國產(chǎn)浸潤式DUV光刻機(jī)已經(jīng)完成研發(fā)并交付客戶進(jìn)行測試，EUV光刻機(jī)也在穩(wěn)步推進(jìn)當(dāng)中。

美國的出口管制讓海外企業(yè)逐步喪失了與中國市場的聯(lián)系，而海外企業(yè)在中國市場上出現(xiàn)的產(chǎn)品缺口則是被中國本土設(shè)備所替代，這是一個非常微妙并且恰到好處的結(jié)果。

中國大陸市場為ASML貢獻(xiàn)了一定程度的營收占比，如果不能繼續(xù)為中國客戶提供DUV光刻機(jī)的售后服務(wù)，那么中國自主設(shè)備就會在未來一步步滲透到本土企業(yè)的生產(chǎn)線上，搶占ASML設(shè)備的市場空間。對于ASML來說，損失經(jīng)濟(jì)事小，丟失市場事大。