河南
快科技7月27日消息，蔡司半導(dǎo)體制造技術(shù)公司（以下簡稱"蔡司SMT"）近日宣布，啟用德國新生產(chǎn)基地，以擴(kuò)大EUV光學(xué)元件產(chǎn)量。
此次擴(kuò)產(chǎn)意義重大，因?yàn)椴趟維MT是ASML EUV光刻機(jī)的唯一光學(xué)供應(yīng)商，扮演著不可替代的角色，可以說沒有蔡司就沒有EUV光刻機(jī)。
蔡司SMT產(chǎn)能是限制ASML EUV光刻機(jī)產(chǎn)量的關(guān)鍵瓶頸，直接決定了ASML能否實(shí)現(xiàn)2027年增產(chǎn)30%的目標(biāo)。ASML在今年2月份發(fā)布的年報中警告，如果蔡司SMT的生產(chǎn)中斷持續(xù)較長時間，ASML將實(shí)際上停止運(yùn)營。
蔡司SMT獨(dú)家供應(yīng)ASML EUV掃描儀中的透鏡、反射鏡和照明系統(tǒng)。一套High-NA EUV投影系統(tǒng)由超過4萬個零件組成，重約12噸，單面反射鏡制造需耗時數(shù)月。
為支持蔡司SMT擴(kuò)產(chǎn)，ASML提供了19.1億歐元貸款和11.9億歐元預(yù)付款。雙方目標(biāo)是將每臺光刻機(jī)的組裝周期從約22周縮短至15到16周，這將顯著提升交付效率，緩解EUV光刻機(jī)供不應(yīng)求的局面。
采購額方面，2023年ASML從蔡司SMT采購33.3億歐元的光學(xué)設(shè)備，2024年達(dá)39.5億歐元，2025年增至44.1億歐元。
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