美商務(wù)部長質(zhì)疑ASML沒有遵守規(guī)矩，向中國出口先進的EUV光刻機

前沿導讀

據(jù)《觀察者網(wǎng)》轉(zhuǎn)載彭博社新聞指出，美國商務(wù)部長盧特尼克在投資會議上質(zhì)疑ASML違反美國的出口管制，向中國企業(yè)出口了EUV光刻機。該質(zhì)疑遭到了ASML公司的否認，并且公司高管解釋稱EUV光刻機的體積龐大、產(chǎn)量有限，還需要ASML員工進行維護，ASML從未向中國出口過任何與EUV技術(shù)相關(guān)的組件、模塊以及設(shè)備。

參考資料：
https://mp.weixin.qq.com/s/h3QW6iVQlmpcLoVB8veDPw

出口管制

據(jù)查詢到的權(quán)威報道顯示，2018年中芯國際向荷蘭ASML采購了一臺價值1.5億美元的EUV光刻機，但是該設(shè)備的出口遭到了美國部門的強勢阻撓。

美方向荷蘭分享了一份報告，報告展示了中國獲得該設(shè)備之后可能出現(xiàn)的情況。此前荷蘭政府已經(jīng)對ASML發(fā)放了向中國客戶出口EUV的許可，但是美國政府與荷蘭進行了多次會談，最終還是叫停了這臺EUV光刻機的對華出口。

按照出口管制條例，外國公司向中國出口技術(shù)產(chǎn)品時，只要美國制造的零件占比達到25%價值，就必須向美國申請出口許可。但經(jīng)過美國部門對EUV光刻機進行審計后發(fā)現(xiàn)，該設(shè)備的美國零件價值占比不足25%，不用向美國申請出口許可。

隨后美國又以所謂的“國家安全問題”對荷蘭施壓，將先進的EUV光刻機設(shè)備列入《瓦森納協(xié)議》中，依靠《瓦森納協(xié)議》的規(guī)定叫停EUV光刻機的對華出口。

中國公司的訂單從2018年開始，就占據(jù)了ASML總銷售額的20%左右，超過了美國公司的16%，成為ASML全球業(yè)務(wù)的新客戶。

并且在后續(xù)的業(yè)務(wù)往來中，中國大陸市場在部分季度為ASML貢獻了超過40%的營收占比，成為了ASML全球唯一的大客戶。

我國駐荷蘭大使徐宏先生此前在接受《金融日報》專訪時表示，中國是全球最大的半導體產(chǎn)品市場，占全球半導體產(chǎn)品消費總量的50%以上。而ASML公司雖然技術(shù)先進，但是其產(chǎn)品技術(shù)離不開市場的支持。丟掉中國市場，不僅利益受損，還會缺失讓產(chǎn)品技術(shù)提升及發(fā)展的重要平臺，ASML自己必定不愿意這樣。

雖然EUV被持續(xù)封鎖，但是DUV光刻機還可以繼續(xù)出口給中國大陸企業(yè)。不過自從中國企業(yè)在國產(chǎn)7nm芯片及DUV光刻機領(lǐng)域推出自主產(chǎn)品之后，美國對于DUV的禁令也開始收緊。正在推動的match法案，則是針對華虹、中芯國際、長鑫存儲、長江存儲、華為這5家中國企業(yè)實施所有浸潤式DUV光刻機的出口限制，哪怕是采購設(shè)備制造成熟芯片也不行。

在封鎖設(shè)備的同時，還一并要求美國企業(yè)和盟友國企業(yè)停止為中國現(xiàn)有進口設(shè)備提供售后方面的支持。這種限制政策可以說是“前無古人”的嚴格，甚至可以說是近乎“瘋狂”的舉動。

毫無證據(jù)

EUV設(shè)備的零部件高達幾十萬個，其供應(yīng)鏈覆蓋全球5100家供應(yīng)商。

并且光刻機屬于模塊化工業(yè)設(shè)備，需要各企業(yè)先將激光發(fā)射器、曝光系統(tǒng)、工作臺等子系統(tǒng)制造完成，然后把所有子系統(tǒng)交付給ASML組裝成一個完整的光刻機設(shè)備。在整個供應(yīng)鏈體系當中，只有ASML擁有讓所有子系統(tǒng)結(jié)合在一起并持續(xù)運行的技術(shù)能力。

在ASML將設(shè)備交付給客戶的過程中，也是將光刻機的各個子系統(tǒng)進行拆分后運輸，并不是直接運輸組裝完成之后的光刻機整體。

光刻機的占地面積很大，組裝完成之后相當于一輛雙層巴士的大小，而且對于放置環(huán)境有著很高標準，空氣潔凈度、電力資源、地基的抗震能力都需要考慮到。只要光刻機正式進入工作狀態(tài)制造芯片，那么就不能停下來。只要停下來，每耽擱一分鐘，將會出現(xiàn)數(shù)千歐元的經(jīng)濟損失。

美國商務(wù)部長盧特尼克公開質(zhì)疑ASML將EUV運送到了中國大陸地區(qū)，但是并沒有拿出真實的證據(jù)來佐證這個說法，這足可以說明其本質(zhì)上還是對中國科技發(fā)展存在“危機感”，并且對ASML這個盟友國的企業(yè)不信任。

縱觀這幾年的半導體設(shè)備市場，中國自主技術(shù)的發(fā)展最為迅速。

而美國、日本、荷蘭等國家的設(shè)備企業(yè)受美國出口管制的影響，與中國大陸地區(qū)的合作關(guān)系非常緊張。本身中國大陸市場就是全球范圍內(nèi)較大的半導體消費市場，無法與中國市場建立合作，影響的是海外企業(yè)的經(jīng)濟利益。

中國半導體產(chǎn)業(yè)近些年的好消息頻發(fā)，不但掌握了去美化的國產(chǎn)7nm芯片制造技術(shù)，而且還在DUV光刻機領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了技術(shù)進步。這種自主技術(shù)的高頻度出現(xiàn)，不得不讓美國部門的人對盟友國企業(yè)產(chǎn)生懷疑。