河北
微振控制是保障精密設(shè)備穩(wěn)定運行、提升產(chǎn)品生產(chǎn)精度與質(zhì)量的核心技術(shù)環(huán)節(jié)。在高精度生產(chǎn)環(huán)境建設(shè)中，需從源頭開展系統(tǒng)化微振管控，形成從前期規(guī)劃、結(jié)構(gòu)設(shè)計到設(shè)備隔振、驗收檢測的全流程解決方案。
潔凈廠房的微振控制工作需貫穿設(shè)計、施工、投產(chǎn)運行全過程，重點圍繞建筑結(jié)構(gòu)、動力設(shè)備、精密儀器三大核心對象，開展專項隔振設(shè)計與振動測試驗證，構(gòu)建完整的微振控制體系。
一、容許振動值控制要求
1.結(jié)合精密儀器與設(shè)備的自身運行特性，制定并落實綜合隔振方案，確保實際振動水平滿足規(guī)定的容許振動值指標(biāo)。
2.精密設(shè)備與儀器的容許振動值，可采用振動加速度、振動速度、振動位移等物理量，在時域或頻域內(nèi)進行量化表達。
3.精密設(shè)備容許振動值優(yōu)先由設(shè)備制造商提供；若無法明確，可參照相關(guān)規(guī)范附錄或結(jié)合設(shè)備工作特性綜合確定。
二、微振動控制設(shè)計要點
1. 分階段振動測試與分析
微振控制設(shè)計需分階段實施測試與評估，主要包括：
場地原始環(huán)境振動測試與分析
廠房建筑結(jié)構(gòu)振動特性測試與分析
精密設(shè)備安裝點位環(huán)境振動測試與分析
微振控制措施實施后最終效果測試與分析
2. 建筑結(jié)構(gòu)設(shè)計要求
結(jié)構(gòu)基礎(chǔ)應(yīng)坐落在動力性能優(yōu)良的地基土體上，并具備足夠的結(jié)構(gòu)剛度。
微振控制專用結(jié)構(gòu)體系宜獨立設(shè)置，與主體建筑結(jié)構(gòu)采取有效分隔措施。
梁、柱、墻體及基礎(chǔ)等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)構(gòu)件截面應(yīng)適當(dāng)加強，滿足低振動控制要求。
3. 主動隔振措施
對高振動動力設(shè)備及配套管道，配置隔振臺座及剛度匹配的隔振器。
潔凈室區(qū)域內(nèi)的管道系統(tǒng)，采用隔振支架、柔性接頭等減振降噪構(gòu)造。
4. 被動隔振措施
隔振平臺應(yīng)具備足夠剛度，配套選用低剛度高效隔振裝置。
隔振系統(tǒng)各方向阻尼比不宜小于 0.15，并進行水平與傾斜校正。
隔振設(shè)施布置不得干擾潔凈室內(nèi)正常氣流組織與流型。
空氣彈簧類隔振器的供氣系統(tǒng)需經(jīng)過凈化處理，滿足潔凈室空氣潔凈度等級要求。
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